真空滤油机包括初滤器、真空蒸发罐、油泵、过滤装置、冷凝器(即凝汽器)和真空泵等部分。不纯净油在大气压力作用下，经初滤器进入真空蒸发罐。油被加热至100℃以上后喷入真空室，成为细小的油滴。油中的水分快速蒸发为水蒸汽，进入冷凝器冷凝后排出。未冷凝的水蒸汽则由真空泵排至大气中。汇集在真空蒸发罐底部、已经蒸发脱水的油被油泵送入过滤装置，滤去油中的固体杂质，进一步吸收掉微量水分。真空滤油机能显著地提高排除油中水分的效果，适用于高压电器用油的提纯。

　　普通滤油机

　　由初滤器、油泵和过滤装置组成。初滤器为一筒状金属网，阻止不纯净油中较大的固体颗粒进入油泵。油泵通常为齿轮泵，输送不纯净油进入过滤装置。过滤装置为一小型手工压紧的板框压滤机，用专用滤纸作过滤介质。不纯净油在油泵压力作用下进入板框压滤机，透过滤纸成为滤清油。油中的固体杂质被截留在滤纸表面，少量的水分被滤纸的毛细孔吸收。过滤压力通常不大于0.3兆帕。当滤纸表面沉积杂质太多，过滤压力升高到0.35兆帕时，或当滤纸吸收的水分接近饱和，滤清油中残留的水分不再降低时，应停机更换滤纸。油的粘度较高时，可预热以降低粘度后再行过滤。这种滤油机只能除去固体杂质和少量水分，适用于一般电器用油和润滑油的提纯。当油中含水分和杂质过多时，须经预处理后再送入滤油机。普通滤油机的处理量为25～200升/分。过滤装置的方形滤框有200毫米、250毫米、320毫米、450毫米、630毫米等。滤板和滤框用铸铁或聚丙烯制成。

　　新出现的分子净油机还采用了静电分离和树脂吸附技术，可除去变质的油分子，使绝缘油高度净化，提高绝缘性能。